在半導(dǎo)體封裝、精密電子、新能源電池、光學(xué)鍍膜及材料燒結(jié)領(lǐng)域，無(wú)塵無(wú)氧化烤箱集高潔凈度、惰性氣氛保護(hù)與精準(zhǔn)溫控于一體，為敏感材料提供無(wú)污染、無(wú)氧化的加熱環(huán)境，運(yùn)行質(zhì)量直接影響產(chǎn)品良率與性能穩(wěn)定性。掌握
無(wú)塵無(wú)氧化烤箱科學(xué)、規(guī)范的操作方法，是確保其高效的關(guān)鍵。
第一步：環(huán)境準(zhǔn)備與氣源確認(rèn)
將設(shè)備置于潔凈車間或獨(dú)立通風(fēng)區(qū)，遠(yuǎn)離粉塵與振動(dòng)源。檢查氮?dú)猓∟2）或氬氣（Ar）氣源壓力是否充足（通常≥0.4MPa），管道連接牢固無(wú)泄漏。確認(rèn)排氣口接入專用廢氣處理系統(tǒng)，避免有害氣體積聚。
第二步：開(kāi)機(jī)自檢與氣氛置換
接通電源，開(kāi)啟總開(kāi)關(guān)。啟動(dòng)控制系統(tǒng)，進(jìn)行系統(tǒng)自檢。關(guān)鍵步驟：開(kāi)啟惰性氣體閥門(mén)，執(zhí)行“預(yù)吹掃”程序（通常10–30分鐘），用高純氣體（≥99.999%）置換腔體內(nèi)空氣，將氧含量降至設(shè)定閾值（如＜10ppm）。通過(guò)氧分析儀實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，確保氣氛達(dá)標(biāo)。
第三步：裝載物料與密封操作
佩戴潔凈手套，使用無(wú)塵工具將待烘物料（如晶圓、電極片、陶瓷生坯）放入石英或不銹鋼舟皿中。輕緩?fù)迫霠t膛，避免震動(dòng)產(chǎn)生顆粒。關(guān)閉爐門(mén)，手動(dòng)或自動(dòng)鎖緊密封結(jié)構(gòu)，確保腔體氣密性。嚴(yán)禁在無(wú)氣體保護(hù)下加熱。
第四步：參數(shù)設(shè)定與程序啟動(dòng)
通過(guò)觸摸屏設(shè)定工藝曲線：
溫度：設(shè)定升溫速率、恒溫溫度（如150℃、300℃、600℃）與保溫時(shí)間；
氣氛：設(shè)定氣體流量（如5–20L/min）與壓力（微正壓）；
時(shí)間：可設(shè)置多段升溫-保溫-降溫程序。
確認(rèn)無(wú)誤后啟動(dòng)運(yùn)行，系統(tǒng)自動(dòng)執(zhí)行控溫與氣氛維持。
第五步：運(yùn)行監(jiān)控與過(guò)程記錄
觀察溫度曲線、氣體流量與氧含量實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，確保在設(shè)定范圍內(nèi)。部分型號(hào)支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與報(bào)警推送。嚴(yán)禁在運(yùn)行中頻繁開(kāi)門(mén)，防止氧氣侵入與溫度驟降。
第六步：降溫與取料
程序結(jié)束后，系統(tǒng)自動(dòng)降溫。關(guān)鍵步驟：保持惰性氣體持續(xù)通入，直至爐溫降至安全溫度（如＜80℃），防止高溫物料接觸空氣氧化。確認(rèn)氧含量穩(wěn)定后，方可開(kāi)門(mén)取料。取出物料后立即密封包裝，避免二次污染。
更新時(shí)間：2025-09-17 
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